使用(yòng)工(gōng)業(yè)設備自(zì)動化(σ±≥huà)控制(zhì)技(jì)術(shù)，實現(xiàn)了(l₩®Ωe)晶圓的(de)高(gāo)效搬運和(hé)精确控制(zh§≥₹ì)，提高(gāo)了(le)生(shēng)産效率和(hé ÷)産品質量。

全自(zì)動膜厚測量系統集自(zì)動化(huà)設備的(de)控制(zh≠λì)、膜厚測試、運行(xíng)狀态的(de)監控∞₹為(wèi)一(yī)體(tǐ)的(de)自(zì)動軟體(tǐ)。

任務管理(lǐ)：展示任務信息、任務詳情、‌¶α晶圓的(de)統計(jì)數(shù)據以及測¶©€&試結果。
創建任務：設置搬運控制(zhì)、Cassette掃片以及确認數(sεπhù)據。
自(zì)動化(huà)控制(zhì)模塊：定義機(jī)械臂動作(zuò)≤→↔指令，下(xià)發指令，實現(xiàn)動作(zu®<ò)的(de)自(zì)動化(huà)控制(zhì)。>•  定義坐(zuò)标，下(xià)發坐(zuò)♣‌ 标，實現(xiàn)XY平台的(de)運動控制(zh£≠£ì)。
Cassette掃片：控制(zhì)機(jī)器(qì)人(rén)對(d↓ ★uì)Cassette盒進行(xíng)掃片，确認晶圓位置及數(shβ₩©Ωù)量。
搬運模版：創建模闆名、設置晶圓尺寸、坐(zuò)标、Por">t（同進同出、異常分(fēn)類）等。
坐(zuò)标管理(lǐ)：展示坐(zuò)标信息，模版的(de)創建™☆、編輯、導入、導出等。