使用(yòng)工(gōng)業(yè)設備自(zì)動化(h"§uà)控制(zhì)技(jì)術(shù)，★♥π★實現(xiàn)了(le)晶圓的(de)高(gāo)效搬運和(h£ ‌é)精确控制(zhì)，提高(gāo)了∞©β(le)生(shēng)産效率和(hé)産品質量。

全自(zì)動膜厚測量系統集自(zì)動化(huà♥ €)設備的(de)控制(zhì)、膜厚測試、運β♥行(xíng)狀态的(de)監控為(wèi)一(φ×λ≤yī)體(tǐ)的(de)自(zì)動軟體(tǐ)。

任務管理(lǐ)：展示任務信息、任務詳情、晶圓的(de)統計(≥ jì)數(shù)據以及測試結果。
創建任務：設置搬運控制(zhì)、Cassette掃片以及确認數(s‌λ∞ hù)據。
自(zì)動化(huà)控制(zhì)模塊：定義機↕'✘↓(jī)械臂動作(zuò)指令，下(xià)發指令©♣λ，實現(xiàn)動作(zuò)的(de)自(zì)動化(huà​φασ)控制(zhì)。定義坐(zuò)标，下(xià)發坐(zuò)标，實₽ε÷★現(xiàn)XY平台的(de)運動控制(zhì)。
Cassette掃片：控制(zhì)機(jī)器(qì)人(r"→βén)對(duì)Cassette盒進行(xíng)掃片，确認晶圓ε☆±位置及數(shù)量。
搬運模版：創建模闆名、設置晶圓尺寸、坐(zuγ♠λò)标、Port（同進同出、異常分(fēn)類）等。
坐(zuò)标管理(lǐ)：展示坐(zuò)标信息，模版的(de)創建、編↓$★輯、導入、導出等。